[发明专利]一种液体喷头及其制造方法有效
申请号: | 201110327364.7 | 申请日: | 2011-10-25 |
公开(公告)号: | CN103072378A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 周毅;李越 | 申请(专利权)人: | 珠海纳思达电子科技有限公司 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/16 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 黄健 |
地址: | 519075 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种液体喷头及其制造方法,所述液体喷头的制造方法包括:在压电元件的共用电极表面设置绝缘材料层作为振动板;使用可光成像高分子材料在所述绝缘材料层表面设置第一薄膜层,并对该第一薄膜层上确定为液体腔室的区域实施第一次曝光;使用可光成像高分子材料在已实施曝光的第一薄膜层表面设置第二薄膜层,并对该第二薄膜层上确定为喷液孔的区域实施第二次曝光;利用显影液显影去除第一薄膜层和第二薄膜层未曝光材料,形成液体腔室和喷液孔。本发明的液体喷头通过二次曝光和一次显影实现液体腔室和喷液头一体成型,提高了液体腔室的强度,以及成品率,利于提升打印设备的品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 液体 喷头 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种液体喷头的制造方法,包括以下步骤:在压电元件的共用电极表面设置绝缘材料层作为振动板;使用可光成像高分子材料在所述绝缘材料层表面设置第一薄膜层,并对该第一薄膜层上确定为液体腔室的区域实施第一次曝光;使用可光成像高分子材料在已实施曝光的第一薄膜层表面设置第二薄膜层,并对该第二薄膜层上确定为喷液孔的区域实施第二次曝光;利用显影液显影去除第一薄膜层和第二薄膜层未曝光材料,形成液体腔室和喷液孔。
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