[发明专利]一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构

摘要

一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构，包括下永磁体、上永磁体、橡胶片、下永磁体固定板、橡胶固定座、上永磁体固定板、橡胶压块和橡胶片外缘固定压环；其中永磁体垂直方向磁化，且同极相对。该对永磁体在斥力的作用下形成一个正刚度系统，橡胶片在永磁体斥力的作用下被拉伸构成负刚度系统，二者联合使用构成一个低频隔振机构，单个隔振机构可实现三自由度的低频隔振，三个或四个并联使用可实现六自由度的低频隔振。不需要外界能量输入，更具有在真空中使用的前景。本发明具有结构简单，成本相当低廉，且易于加工制造的特点，可用于光学、声学、生物学、先进制造装备、半导体制造和精密测量等领域。

主权项

一种基于负刚度原理的永磁低频三自由度隔振机构，其特征在于：所述的低频三自由度隔振机构包括下永磁体(8)、上永磁体(7)、橡胶片(6)、下永磁体固定板(1)、橡胶固定座(2)、上永磁体固定板(4)、橡胶压块(5)和橡胶片外缘固定压环(3)；所述的上永磁体(7)和下永磁体(8)垂直方向磁化，且同极相对；所述的橡胶片(6)的外缘通过橡胶外缘固定压环(3)固定在橡胶固定座(2)上，橡胶片(6)的中间部分通过橡胶片压块(5)与上永磁体固定板(4)固定；所述的上永磁体(7)固定上永磁体固定板(4)上；所述的下永磁体(8)固定在下永磁体固定板(1)上；所述橡胶固定支座(2)固定在下永磁体固定板(1)上；所述的三自由度是指沿x方向、y方向和z方向的移动。