[发明专利]载置台架

摘要

提供一种结构简单且以很高的精度进行工件的位置姿势控制的载置台架。是控制被成像曝光光成像而曝光既定的掩模图案的工件（22）的相对于基准平面的位置及姿势的载置台架（30）。具备：基座部件（31），相对于基准平面固定地设置；第一驱动机构（32），可在沿着基准平面的第一方向（Y轴方向）上移动地设在基座部件（31）上；第一滑块（33），受第一驱动机构（32）支承；一对第二驱动机构（34），可在沿着基准平面且相对于第一方向倾斜的第二方向（X轴方向）上移动地、在第一滑块上沿第一方向隔开间隔设置；两个第二滑块（35），分别受各第二驱动机构单独支承；平面调节板（36），为了载置工件（22）而在两第二滑块上沿第一方向架设，沿着基准平面设置。

主权项

一种载置台架，是相对于基准平面对曝光光成像而曝光既定的掩模图案的工件的定位进行控制的载置台架，其特征在于，具备：基座部件，相对于上述基准平面固定地设置；第一驱动机构，能够在沿着上述基准平面的第一方向上移动地设在上述基座部件上；第一滑块，由该第一驱动机构支承；一对第二驱动机构，以能够在沿着上述基准平面且相对于上述第一方向倾斜的第二方向上移动的方式，在上述第一滑块上沿上述第一方向隔开间隔地设置；两个第二滑块，分别由该第二驱动机构单独支承；平面调节板，为了载置上述工件而沿上述第一方向架设于上述两第二滑块上，沿着上述基准平面设置。