[发明专利]一种掩模板安全搬运推车无效
| 申请号： | 201110314326.8 | 申请日： | 2011-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN102582670A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 戴韫青;傅昶 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/04 | 分类号： | B62B3/04;B62B5/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种掩模板安全搬运推车，通过采用磁悬浮装置和在轮子上设置避震装置及弹性材质的掩模板卡座，能较大程度的减少搬运途中对掩模板的碰撞和震动，以确保掩模板的安全搬运。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模板 安全 搬运 推车 | ||
【主权项】：
一种掩模板安全搬运推车，其特征在于，一推车上固定设置一空盒体，其内部表面固定设置有第一磁性装置；一放置于空盒体内的内盒，其外部表面固定设置与第一磁性装置磁性相同的第二磁性装置，该内盒放置于空盒体内时保持悬浮状态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110314326.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种焦粉型焦及其制备方法
- 下一篇：一种汽车车门防撞梁
