[发明专利]一种非扫描式波长色散型X射线荧光光谱仪

摘要

本发明提供一种非扫描式波长色散型X射线荧光光谱仪，主要由X射线管、小孔光阑、圆柱环分光晶体、光子计数成像探测器以及信息处理及显示构成：X射线管输出原级X射线激发样品产生荧光X射线；荧光X射线通过小孔光阑入射到圆柱环分光晶体；圆柱环分光晶体对荧光X射线进行衍射，形成明暗相间的环形衍射条纹图像；光子计数成像探测器通过位敏探测和光子计数重构环形衍射条纹图像；信息处理及显示根据环形衍射条纹图像中环形衍射条纹的半径和亮度对样品进行定性定量分析。本发明结构简单、运行稳定、鲁棒性强、工作速度快、升级调教方便、功耗低、成本低、精度高、可同时分析多种物质成分以及可充分利用工作波长范围内的每一条谱线。

主权项

一种非扫描式波长色散型X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述X射线荧光光谱仪主要由X射线管(1)、小孔光阑(2)、圆柱环分光晶体(3)、光子计数成像探测器(4)以及信息处理及显示(5)构成；其中，X射线管(1)用于输出原级X射线激发样品以产生荧光X射线，荧光X射线通过小孔光阑(2)入射到圆柱环分光晶体(3)的内柱面上；小孔光阑(2)，用于调制入射荧光X射线的光束形状和光通量；圆柱环分光晶体(3)，用于将入射的荧光X射线按衍射角或波长分开，并在光子计数成像探测器(4)的像面上形成明暗相间的环形衍射条纹图像，环形衍射条纹半径与荧光X射线的衍射角或波长一一对应；光子计数成像探测器(4)，用于探测环形衍射条纹图像，通过位敏探测和光子计数以数字化的方式重构环形衍射条纹图像；信息处理及显示(5)，用于接收和处理光子计数成像探测器(4)输出的数字环形衍射条纹图像，并依据图像中每一环形衍射条纹的半径和亮度对样品进行定性定量分析；X射线管(1)照射样品的方向与观测荧光X射线的方向成一角度；光子计数成像探测器(4)与信息处理及显示(5)之间主要是通过信号引线进行电子学连接。