[发明专利]单晶拉制装置和坩埚支承装置

摘要

一种单晶拉制装置(A1)，通过使具有重量检测机构的支承体移动来移动提拉轴和轴支承部，实施密封容器内的单晶的提拉，轴支承部具备支承提拉轴的主体部和与主体部连结的被支承部，支承体具备支承被支承部的支承部和配置于比被支承部更靠轴线方向z上方的延伸部，该单晶拉制装置具备：第一筒体，其设置于延伸部与被支承部之间，在轴线方向z可伸缩，且内部空间被密封；第二筒体，其以包围提拉轴的方式构成，在轴线方向z可伸缩，轴线方向z的上端固定于主体部，且内部空间被密封，与密封容器的内部空间连通；配管，其连结第一筒体和第二筒体。通过这种结构，能更正确地测定单晶的重量。

主权项

一种单晶拉制装置，其具备：密封容器；提升在所述密封容器内培养的单晶的提拉轴；支承所述提拉轴的轴支承部；支承体，其具备检测加载于所述轴支承部的重量的重量检测机构，并支承所述轴支承部，通过使所述支承体沿着所述提拉轴的轴线方向移动，来实施所述单晶的提拉，其中，所述轴支承部具备支承所述提拉轴的主体部和与所述主体部连结的被支承部，所述支承体具备支承所述被支承部的支承部和配置于比所述被支承部更靠所述轴线方向上方的延伸部，所述单晶拉制装置具备：第一筒体，其设置于所述延伸部与所述被支承部之间，在所述轴线方向可伸缩，并且内部空间被密封；第二筒体，其以包围所述提拉轴的方式构成，在所述轴线方向可伸缩，所述轴线方向的上端固定于所述主体部，并且内部空间被密封，与所述密封容器的内部空间连通；配管，其连结所述第一筒体和所述第二筒体。