[发明专利]单晶拉制装置和坩埚支承装置

权利要求书

1.一种单晶拉制装置，其具备：

密封容器；

提升在所述密封容器内培养的单晶的提拉轴；

支承所述提拉轴的轴支承部；

支承体，其具备检测加载于所述轴支承部的重量的重量检测机构，并支承所述轴支承部，

通过使所述支承体沿着所述提拉轴的轴线方向移动，来实施所述单晶的提拉，其中，

所述轴支承部具备支承所述提拉轴的主体部和与所述主体部连结的被支承部，

所述支承体具备支承所述被支承部的支承部和配置于比所述被支承部更靠所述轴线方向上方的延伸部，

所述单晶拉制装置具备：

第一筒体，其设置于所述延伸部与所述被支承部之间，在所述轴线方向可伸缩，并且内部空间被密封；

第二筒体，其以包围所述提拉轴的方式构成，在所述轴线方向可伸缩，所述轴线方向的上端固定于所述主体部，并且内部空间被密封，与所述密封容器的内部空间连通；

配管，其连结所述第一筒体和所述第二筒体。

2.如权利要求1所述的单晶拉制装置，其中：

所述第一筒体具有固定于所述被支承部的第一固定环，

所述第二筒体具有固定于所述主体部的第二固定环，

所述第一和第二固定环的内径相同。

3.如权利要求1或2所述的单晶拉制装置，其中：

所述支承体具备具有使所述提拉轴插通的开口的台部，

所述第二筒体的所述轴线方向的下端固定于所述台部，

具备第三筒体，其设置于所述台部与所述密封容器之间，以包围所述提拉轴的方式构成，且与所述密封容器的内部空间连通。

4.如权利要求2所述的单晶拉制装置，其中：

所述配管设置为连接所述延伸部和所述第二固定环。

5.如权利要求3所述的单晶拉制装置，其中：

所述第三筒体具有固定于所述台部的第三固定环，

所述配管设置为连接所述延伸部和所述第三固定环。

6.如权利要求1～5中任一项所述的单晶拉制装置，其中：

所述第一筒体配置于在所述轴线方向看与所述提拉轴重合的位置。

7.一种坩埚支承装置，其具备：

密封容器；

收容于所述密封容器内的坩埚；

支承所述坩埚的支承轴；

支承所述支承轴的轴支承部；和

支承体，其具备检测加载于所述轴支承部的重量的重量检测机构，并支承所述轴支承部，其中，

所述轴支承部具备支承所述支承轴的主体部和与所述主体部连结的被支承部，

所述支承体具备支承所述被支承部的支承部和配置于比所述被支承部更靠所述轴线方向下方的延伸部，

所述坩埚支承装置具备：

第一筒体，其设置于所述延伸部与所述被支承部之间，在所述轴线方向可伸缩，并且内部空间被密封；

第二筒体，其以包围所述支承轴的方式构成，在所述轴线方向可伸缩，所述轴线方向的下端固定于所述主体部，并且内部空间被密封，与所述密封容器的内部空间连通；

配管，其连结所述第一筒体和所述第二筒体。

8.如权利要求7所述的坩埚支承装置，其中：

所述第一筒体具有固定于所述被支承部的第一固定环，

所述第二筒体具有固定于所述主体部的第二固定环，

所述第一和第二固定环的内径相同。

9.如权利要求7或8所述的坩埚支承装置，其中：

所述支承体具备具有使所述支承轴插通的开口的台部，

所述第二筒体的所述轴线方向的上端固定于所述台部，

具备第三筒体，其设置于所述台部与所述密封容器之间，以包围所述提拉轴的方式构成，且与所述密封容器的内部空间连通。

10.如权利要求8所述的坩埚支承装置，其中：

所述配管设置为连接所述延伸部和所述第二固定环。

11.如权利要求9所述的坩埚支承装置，其中：

所述第三筒体具有固定于所述台部的第三固定环，

所述配管设置为连接所述延伸部和所述第三固定环。

12.如权利要求7～11中任一项所述的坩埚支承装置，其中：

所述第一筒体配置于在所述轴线方向看与所述支承轴重合的位置。