[发明专利]多探针共成像的超高真空四探针扫描隧道显微镜

摘要

本发明公开了一种多探针共成像的超高真空四探针扫描隧道显微镜。该扫描隧道显微镜包括超高真空腔体、三维调节镜架、光学显微镜、减振底盘、样品台部件、四个探针位移驱动器、四个探针Z向扫描器以及四个扫描探针。本发明在样品台部件中采用压电陶瓷管，从而样品台能够在XY平面扫描，而样品表面高低起伏的跟踪分别由四个探针Z向扫描器来完成。本发明以光学显微镜取代电子显微镜，极大地降低了应用成本，并且能够进行光谱分析；而且样品台扫描的多探针共成像方法，近似于单探针的扫描成像控制，电子学控制单元和软件因不必考虑各探针的扫描同步问题而变得相对简单，同时利用扫描探针成像的高分辨实现探针在样品表面的精准定位。

主权项

一种超高真空四探针扫描隧道显微镜，所述超高真空四探针扫描隧道显微镜包括：超高真空腔体，其特征在于：在所述超高真空腔体的顶部由刀口法兰密封安装有三维调节镜架以及在所述三维调节镜架上安装有光学显微镜；在所述超高真空腔体的内部经由四根弹簧悬挂有减振底盘；在所述减振底盘的中央安装有能够在XY平面扫描的样品台部件；在所述减振底盘上且处于所述样品台部件的四周安装有四个探针位移驱动器；四个探针Z向扫描器分别安装在所述四个探针位移驱动器上；以及四个扫描探针分别安装在所述四个探针Z向扫描器上。