[发明专利]线性马达及载物台装置

摘要

本发明的线性马达是具备场磁铁和电枢，将所述场磁铁和所述电枢的任意一方作为动子，将另一方作为定子，可使所述动子沿X轴方向及与其正交的Y轴方向移动的线性马达，其为，所述场磁铁具有：相对配置的2个平板状磁轭；轭铁基座，设在所述磁轭的所述Y轴方向一侧端部上；第1磁铁阵列，沿所述X轴方向配置有多列设置在所述磁轭内侧且相对配置的极性不同的一对第1磁铁；及第2磁铁阵列，沿所述Y轴方向配置有一列设置在所述磁轭内侧的所述第1磁铁阵列的所述Y轴方向一侧或另一侧且相对配置的极性不同的一对第2磁铁，所述电枢具有：第1电枢绕组，配置在与所述第1磁铁阵列相对的位置上；及第2电枢绕组，配置在与所述第2磁铁阵列相对的位置上。

主权项

一种线性马达，是具备场磁铁和电枢，将所述场磁铁和所述电枢的任意一方作为动子，将另一方作为定子，可使所述动子沿X轴方向及与其正交的Y轴方向移动的线性马达，其特征在于，所述场磁铁具有：相对配置的2个平板状磁轭；轭铁基座，设置在所述磁轭的所述Y轴方向一侧端部上；第1磁铁阵列，沿所述X轴方向配置有多列设置在所述磁轭内侧且相对配置的极性不同的一对第1磁铁；及第2磁铁阵列，沿所述Y轴方向配置有一列设置在所述磁轭内侧的所述第1磁铁阵列的所述Y轴方向一侧或另一侧且相对配置的极性不同的一对第2磁铁，所述电枢具有：第1电枢绕组，配置在与所述第1磁铁阵列相对的位置上；及第2电枢绕组，配置在与所述第2磁铁阵列相对的位置上。