[发明专利]线性马达及载物台装置

说明书

技术领域

所公开的实施方式涉及一种线性马达及载物台装置。

背景技术

以往，提出有能够用1台线性马达进行X轴及Y轴的2轴方向驱动的线性马达(例如参照日本国特开2010-74976号公报)。

该线性马达具备：场磁铁，具有第1磁铁阵列及第2磁铁阵列；及电枢，在与场磁铁的第1磁铁阵列相对的位置上配置第1电枢绕组阵列，同时在与场磁铁的第2磁铁阵列相对的位置上配置第2电枢绕组阵列。第1磁铁阵列通过在场磁铁所具有的2个平板状磁轭的内侧，沿X轴方向配置多列相对配置的一对第1磁铁而构成。而且，第2磁铁阵列通过在第1磁铁阵列的Y轴方向一侧(轭铁开口侧)，沿Y轴方向配置2列相对配置的一对第2磁铁而构成。

在上述现有技术的构成中，在马达的大小被限定时，场磁铁的第1磁铁阵列与第2磁铁阵列的位置靠近，基于第1磁铁阵列的X轴驱动用磁场与基于第2磁铁阵列的Y轴驱动用磁场有可能会相互干涉。

发明内容

本发明的目的在于提供一种线性马达及载物台装置，能够抑制XY轴的各轴驱动用磁场相互干涉。

本实施方式的线性马达，是具备场磁铁和电枢，将所述场磁铁和所述电枢的任意一方作为动子，将另一方作为定子，可使所述动子沿X轴方向及与其正交的Y轴方向移动的线性马达，其特征在于，所述场磁铁具有：相对配置的2个平板状磁轭；轭铁基座，设置在所述磁轭的所述Y轴方向一侧端部上；第1磁铁阵列，沿所述X轴方向配置有多列设置在所述磁轭内侧且相对配置的极性不同的一对第1磁铁；及第2磁铁阵列，沿所述Y轴方向配置有一列设置在所述磁轭内侧的所述第1磁铁阵列的所述Y轴方向一侧或另一侧且相对配置的极性不同的一对第2磁铁，所述电枢具有：第1电枢绕组，配置在与所述第1磁铁阵列相对的位置上；及第2电枢绕组，配置在与所述第2磁铁阵列相对的位置上。

在本申请第1发明的线性马达中，场磁铁具有：第1磁铁阵列，沿X轴方向配置有多列在2个平板状磁轭内侧相对配置的一对第1磁铁；及第2磁铁阵列，沿Y轴方向配置有一列设置在该第1磁铁阵列的Y轴方向一侧或另一侧且相对配置的一对第2磁铁。在第1磁铁阵列中，通过沿X轴方向以极性交替相反的方式配置一对第1永久磁铁，而由相邻的两对第1永久磁铁彼此形成磁场的闭环，从而能够利用由第1磁铁阵列和第1电枢绕组生成的电磁力在X轴方向上驱动电枢。而且，在设置于第1磁铁阵列的Y轴方向一侧或另一侧的第2磁铁阵列中，由一对第2永久磁铁和设置在磁轭的Y轴方向一侧端部上的轭铁基座形成磁场的闭环，从而能够利用由第2磁铁阵列和第2电枢绕组生成的电磁力在Y轴方向上驱动电枢。

如此，通过构成为沿Y轴方向仅配置一列的一对第2磁铁，与沿Y轴方向配置两列的一对第2磁铁，由第2磁铁彼此形成磁场闭环的结构相比，第2磁铁的Y轴方向的列数变少，因此，能够使第1磁铁阵列和第2磁铁阵列的位置远离。由此，能够抑制基于第1磁铁阵列的X轴驱动用磁场与基于第2磁铁阵列的Y轴驱动用磁场相互干涉。其结果，可防止因磁场的相互干涉而使各轴的漏磁通增大而导致马达常数降低。而且，可防止因磁场的相互干涉而使各轴的气隙磁通密度产生不均而导致推力波动、侧向力增加。因而，不会对搭载马达的装置的各种性能产生不良影响，可提高马达的可靠性。

附图说明

图1表示本实施方式的线性马达的整体示意结构，是基于沿与X轴方向正交的方向的截面的线性马达的横截面图。

图2是表示场磁铁的整体示意结构的说明图，图2(a)是基于图2(b)中IIA-IIA截面的场磁铁的横截面图，图2(b)是沿与X轴方向正交的方向观察场磁铁的侧视图。

图3是表示电枢的整体示意结构的说明图，图3(a)是基于图3(b)中IIIA-IIIA截面的电枢的横截面图，图3(b)是沿与X轴方向正交的方向观察电枢的侧视图。

图4是表示对比例中的场磁铁的整体示意结构的说明图，图4(a)是基于图4(b)中IVA-IVA截面的对比例中的场磁铁的横截面图，图4(b)是沿与X轴方向正交的方向观察对比例中的场磁铁的侧视图。

图5是表示电枢在与场磁铁的关系中从图1所示的位置相对地向Y轴方向一侧移动时的第2绕组边端部与第2磁铁阵列的距离的说明图。

图6在将第2磁铁阵列设置在第1磁铁阵列的Y轴方向另一侧的变形例中表示线性马达的整体示意结构，是基于沿与X轴方向正交的方向的截面的线性马达的横截面图。

具体实施方式

以下，参照附图对本实施方式进行说明。