[发明专利]等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201110301545.2 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN102421238A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 山泽阳平 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种妥善地抑制RF天线内的波长效应并且在圆周方向上和直径方向上容易地实现均匀的等离子体工序的电感耦合型等离子体处理装置。在该电感耦合型等离子体处理装置中，为了生成电感耦合等离子体，在电介质窗(52)上设置的RF天线(54)在直径方向上分割为内侧线圈、中间线圈和外侧线圈(62)。内侧线圈(58)具有单一或串列地连接的内侧线圈段(59)。中间线圈(60)在圆周方向被分割，具有并联电连接的2个中间线圈段(61(1))、(61(2))。所述外侧线圈(62)在圆周方向被分割，具有并联电连接的3个外侧线圈段(63(1))、(63(2))、(63(3))。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体处理装置，其特征在于，具备：具有电介质窗的处理容器；基板保持部，其在所述处理容器内保持被处理基板；处理气体供给部，其为了对所述基板实施希望的等离子体处理，而向所述处理容器内供给希望的处理气体；RF天线，其为了在所述处理容器内通过电感耦合来生成处理气体的等离子体，而设置在所述电介质窗之外；高频供电部，其向所述RF天线供给适合所述处理气体的高频放电的频率的高频电力，所述RF天线具有在直径方向隔有间隔地分别配置于内侧、中间和外侧的内侧线圈、中间线圈和外侧线圈，所述内侧线圈具有单一或串联连接的内侧线圈段(coil segment)，所述中间线圈，在圆周方向被分割，具有并联电连接的多个中间线圈段，所述外侧线圈，在圆周方向被分割，具有并联电连接的多个外侧线圈段。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110301545.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：方便药片分离器
- 下一篇：遮幅边缘处理方法、遮幅边缘装置及影像处理系统
