[发明专利]正交声光偏转器获得任意激光束剖面能量分布的方法有效
申请号: | 201110283629.8 | 申请日: | 2011-09-22 |
公开(公告)号: | CN102441735A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 陈学康;吴敢;王瑞;杨建平;曹生珠;韦波 | 申请(专利权)人: | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
主分类号: | B23K26/073 | 分类号: | B23K26/073 |
代理公司: | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人: | 张英荷 |
地址: | 730000*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于正交声光偏转器获得任意形状和能量剖面的等效激光光斑的方法,该方法利用互为正交放置的两个声光偏转器,使激光束在正交方向上进行扫描,聚焦以后获得细聚焦的等效激光光斑;且对等效光斑的形状和激光扫描密度进行有效控制,实现等效激光光斑形状和能量剖面的任意分布,不仅可用于三维微结构的制作,也可用于工件表面的高精度加工。 | ||
搜索关键词: | 正交 声光 偏转 获得 任意 激光束 剖面 能量 分布 方法 | ||
【主权项】:
利用正交声光偏转器获得任意激光束剖面和能量的方法,其特征在于:利用正交放置的两个声光偏转器,通过控制正交声光偏转器的激励波形与强度,使激光束按设定的方式进行小角度高频扫描,聚焦后获得形状和能量剖面任意可控的等效激光光斑。
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