[发明专利]ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法无效
| 申请号： | 201110272811.3 | 申请日： | 2011-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102435418A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 邓文渊;金春水;靳京城 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 王淑秋 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置，该装置的ArF准分子激光器、ArF准分子激光扩束准直装置、可变光阑、起偏器、分束器、样品台沿主光轴顺序放置；参比光偏振探测装置位于分束器的反射光路上，样品台位于分束器的透射光路上；透射光偏振测量装置固定安装在第一可旋转支撑臂上，反射光偏振探测装置固定安装在第二可旋转支撑臂上；样品台、第一可旋转支撑臂和第二可旋转支撑臂位于同一平面内并具有同一旋转中心，且该旋转中心位于主光轴上。本发明可以同时测量不同形状的光学薄膜元件在不同入射角时的偏振反射率、透射率、反射退偏度和透射退偏度，从而最大限度满足各种ArF激光光学薄膜元件偏振性能评价的需要。 | ||
| 搜索关键词： | arf 激光 光学薄膜 元件 综合 偏振 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置，其特征在于包括ArF准分子激光器(23)、ArF准分子激光扩束准直装置(5)、可变光阑(6)、起偏器(7)、分束器(8)、样品台(22)、193nm参比光偏振探测装置(9)、193nm透射光偏振测量装置(11)、193nm反射光偏振探测装置(12)；ArF准分子激光器(23)发出的光束经ArF准分子激光扩束准直装置(5)扩束准直后照射到可变光阑(6)，再由可变光阑(6)调节光斑大小，然后由起偏器(7)转变为偏振光后入射到分束器(8)；193nm参比光偏振探测装置(9)位于分束器(8)的反射光路上，样品台(22)位于分束器(8)的透射光路上；193nm透射光偏振测量装置(11)固定安装在第一可旋转支撑臂(24)上，193nm反射光偏振探测装置(12)固定安装在第二可旋转支撑臂(25)上；样品台(22)、第一可旋转支撑臂(24)和第二可旋转支撑臂(25)位于同一平面内并具有同一旋转中心，且该旋转中心位于主光轴上。
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