[发明专利]以等离子喷涂制备圆柱形大面积镀膜靶材及方法

摘要

以等离子喷涂制备圆柱形大面积镀膜靶材及方法，制备方法包括4个步骤，即喷涂粉体制取、基体准备、结合层喷涂、等离子喷涂成型；将单一金属和非金属材料，或多种金属或非金属材料通过热喷涂在衬管上形成具有厚度的单体靶材，工艺适应性强，同时满足多种材质和长度尺寸靶材要求。具有结构简单，性能可靠，可显著提高靶材的利用率，层表面质量好、膜层致密；广泛应用在;建筑与汽车玻璃大面积镀膜、太阳能光伏光热、表面装饰与功能镀膜、平面显示、光学光通讯光存储、磁数据存储和半导体等工业领域。

主权项

以等离子喷涂制备圆柱形大面积镀膜靶材及方法，其特征是：制备方法包括4个步骤，即喷涂粉体制取、基体准备、结合层喷涂、等离子喷涂成型；具体地包括：1）喷涂粉体制取：称取一种或多品种纯度不低于重量百分含量99wt%的靶材材料，充分研磨后过筛，经过喷雾造粒制得喷涂粉体；2）基体准备：准备一衬管，对衬管进行表面处理；3）结合层喷涂：对2）中表面处理后的衬管通过电弧喷涂方式在衬管表面形成一层结合层； 4）等离子喷涂成型：将1）中制得的喷涂粉体装入等离子喷涂送粉器，将3）中已形成结合层后的衬管安装在等离子喷涂传动设备上，在喷涂过程中，保持衬管壁与热喷涂枪间相对运动，设定喷涂厚度，制得靶材。