[发明专利]太阳能电池的制造方法

摘要

一种太阳能电池的制造方法，包含：步骤A：利用干式蚀刻方式蚀刻一第一导电型基板，使其一入光面成为高低起伏状，且该入光面还形成一个等离子破坏层；步骤B：氧化该等离子破坏层以转变成一个氧化层；步骤C：利用湿式蚀刻方式移除该氧化层；步骤D：热扩散处理以形成一个第二导电型射极层。通过该氧化制程将该等离子破坏层氧化，使本发明在热扩散处理前可以省略已知方法中的KOH蚀刻步骤，并且只需要一次的湿式蚀刻即可移除该氧化层，大幅缩短制程时间、提升产能，可兼顾量产的可行性及太阳能电池的转换效率。

主权项

一种太阳能电池的制造方法，包含：步骤A：利用干式蚀刻方式蚀刻一个第一导电型基板，使该第一导电型基板的一个入光面成为高低起伏状，且该入光面还形成一个等离子破坏层；其特征在于，该太阳能电池的制造方法还包含下列步骤：步骤B：氧化该等离子破坏层，使该等离子破坏层转变成一个氧化层；步骤C：利用湿式蚀刻方式移除该氧化层；步骤D：对该第一导电型基板进行热扩散处理，使该第一导电型基板的入光面形成一个第二导电型射极层，以完成制作该太阳能电池的半成品；步骤E：在该太阳能电池的半成品上形成电极。