[发明专利]用于光学检测的照射系统有效
| 申请号： | 201110240143.6 | 申请日： | 2003-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN102393398A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 伦·纳弗塔立;艾麦夏·捷塔;翰·菲德门;都伦·休汉;吉尔·布莱 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司;应用材料公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明公开一种样品的检测装置，包括：辐射源，用于导引光辐射到样品的表面的区域上；多个图像传感器，被配置来接收从所述区域散射到不同的各角度范围内的辐射以形成所述区域的各图像；图像处理器，用于处理各图像中的至少一个以检测所述表面上的缺陷；汇聚光学装置，包括：多个物镜，分别与一个图像传感器关联从而捕获从所述表面散射的各自角度范围内的辐射并把捕获的辐射传送到所述一个图像传感器，其中物镜具有各自的光轴，光轴以各自的倾斜角度与所述表面相交；多个倾斜校正单元，分别与物镜关联并且所述多个校正单元用于校准各倾斜角度以产生实质上无畸变的中间图像；多个聚焦光学装置，光学地连接以将中间图像聚焦在所述图像传感器上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学 检测 照射 系统 | ||
【主权项】：
一种样品的检测装置，包括：辐射源，用于导引光辐射到所述样品的表面的区域上；多个图像传感器，每个图像传感器被配置来接收从所述区域散射到不同的各角度范围内的辐射以形成所述区域的各图像；图像处理器，用于处理所述各图像中的至少一个以检测所述表面上的缺陷：汇聚光学装置，所述汇聚光学装置包括：多个物镜，每个物镜分别与一个图像传感器关联从而捕获从所述表面散射的各自角度范围内的辐射并把捕获的辐射传送到所述一个图像传感器，其中所述物镜具有各自的光轴，所述光轴以各自的倾斜角度与所述表面相交；多个倾斜校正单元，所述多个倾斜校正单元分别与所述物镜关联并且所述多个校正单元用于校准各倾斜角度以产生实质上无畸变的中间图像；多个聚焦光学装置，所述多个聚焦光学装置光学地连接以将所述中间图像聚焦在所述图像传感器上。
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