[发明专利]一种大面积双面氟掺杂氧化锡透明导电薄膜的喷涂方法

摘要

本发明公开了一种大面积双面氟掺杂氧化锡透明导电薄膜的喷涂方法，其是采用喷雾热解制备技术，向镀膜室内喷入大量含有氟掺杂氧化锡前驱体喷涂液的雾滴，该雾滴在抽风机的带动下有规律地定向移动，在高温作用下，雾滴经过溶剂挥发、溶质的热分解反应等过程后，在立式放置的玻璃基体正反两面均匀形核与长大，形成氟掺杂氧化锡薄膜，剩余废气经排风系统排出，最后将制备的双面氟掺杂氧化锡薄膜在强风下冷却即完成薄膜制备过程。使用该方法制备的双面氟掺杂氧化锡薄膜，成本低、膜面污染小、可见光透过率和红外反射率高，导电性能好，同时由于采用喷雾热解制备技术，工艺简单易行、薄膜制备效率高、可大面积双面制膜。

主权项

一种大面积双面氟掺杂氧化锡透明导电薄膜的喷涂方法，采用喷雾热解制备技术，其特征在于，按照以下步骤实施：步骤1，按所需面积要求，将玻璃基板切割成所需大小，然后对切割好的玻璃基板进行磨边处理，随后对玻璃基板进行清洗和烘干；步骤2，将步骤1处理后的玻璃基板竖直放置于玻璃支架上，将玻璃支架竖直安装在小车上，由小车带动以400~800 mm/s的速度进入加热室内加热至喷涂温度； 步骤3，将喷枪固定于喷涂室内不动，保持枪杆与步骤2加热好的玻璃基板所在面垂直，打开喷枪气液阀，向喷涂室内喷射氟掺杂氧化锡前驱体溶液，同时开启抽风机，通过控制抽风机的抽风流量、喷枪嘴与玻璃基板间距、喷枪内载气的气压和流量与氟掺杂氧化锡溶液液压和流量来控制喷涂室内雾滴的雾场，待喷涂室内雾场稳定后，通过小车将玻璃基板送入喷涂室，在喷涂室内以20~100 mm/s的速度沿着平行于玻璃基板方向来回摆动，进行喷涂镀膜，喷涂时间为30~60 s； 步骤4，待经过步骤3喷涂完成后，关闭液气阀门和抽风机，将镀膜后的玻璃基板通过小车以400~800 mm/s的速度送入冷却室，冷却至室温；步骤5，将经步骤4处理后冷却至室温的镀膜玻璃送入卸片台，将其卸下，即完成镀膜操作。