[发明专利]气体探测装置和方法有效
申请号: | 201110215725.9 | 申请日: | 2011-07-29 |
公开(公告)号: | CN102346161A | 公开(公告)日: | 2012-02-08 |
发明(设计)人: | R.菲克斯;D.孔茨 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G01N27/22 | 分类号: | G01N27/22 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 曹若;梁冰 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明提供一种气体探测装置,它具有一种半导体材料(100),其中,半导体材料是电可接触的;并且该装置具有一种绝缘材料(102),所述绝缘材料具有预定的厚度,并且是涂覆到半导体材料上的;并且具有一个涂覆到绝缘材料上的电可接触的金属层(104),其中,这个金属层具有至少一个孔(106)、且该孔具有预定的孔隙宽度,其中,这个孔隙宽度和绝缘材料的厚度成一种预先规定的比例,并且其中,在孔的范围中绝缘材料是外露的。 | ||
搜索关键词: | 气体 探测 装置 方法 | ||
【主权项】:
气体探测装置,其中,该装置具有下述特征:* 半导体材料(100),其中,该半导体材料是可电接触的;* 至少一绝缘材料(102),该绝缘材料具有预定的厚度,并且被涂覆到半导体材料上,并且* 涂覆到绝缘材料上的电可接触的金属层(104),其中,金属层具有至少一个孔(106),且该孔具有规定的孔隙宽度,其中,这个孔隙宽度和绝缘材料的厚度有规定的比例,并且其中,在孔的区域中绝缘材料是外露的。
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