[发明专利]一种采用增氢钝化提高太阳能电池片转换效率的方法

摘要

本发明涉及晶体硅太阳能的制造，具体的说是一种采用增氢钝化提高太阳能电池片转换效率的方法。通过微波在太阳能电池片上沉积氢化的氮化硅膜层作为转换效率的表面钝化层和减反射层。本发明在形成氮化硅膜层之前通入氢气，并将其电离，对电池片进行钝化，中和悬挂键之后通入前驱气体的混合物，形成具有合适折射率，质量密度，氢浓度的氮化硅层，该氮化硅层可以用作太阳能电池片上的减反射/钝化层。通过基本包含硅烷和氨气的混合物可以在太阳能电池片上形成氮化硅层。将多个电池片放在载板上，并且将载板传输进沉积腔室，以进一步提升产能。

主权项

一种采用增氢钝化提高太阳能电池片转换效率的方法，其特征在于：通过微波在太阳能电池片上沉积氢化的氮化硅膜层作为转换效率的表面钝化层和减反射层。