[发明专利]透明导电基板及制造方法、薄膜太阳能电池及制造方法有效
申请号: | 201110186615.4 | 申请日: | 2011-06-28 |
公开(公告)号: | CN102298986A | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 山野边康德;松村文彦 | 申请(专利权)人: | 住友金属矿山株式会社 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00;H01L31/048;H01L31/0224;H01L31/18;B32B3/30;B32B9/04;C23C14/34;C23C14/08 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 宋晓宝;郭晓东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供光电转换效率高的带有表面电极的透明导电基板及制造方法、薄膜太阳能电池及制造方法。通过形成氧化铟类的非晶体透明导电膜作为基底膜(21),在其上形成氧化锌类的晶体透明导电膜,形成由良好的凹凸结构构成的表面电极(2)。结果能够提供光封闭效果更高的表面电极(2),得到光电转换效率更高的薄膜太阳能电池(10)。 | ||
搜索关键词: | 透明 导电 制造 方法 薄膜 太阳能电池 | ||
【主权项】:
一种带有表面电极的透明导电基板,其特征在于,在透光性基板上,依次层叠有氧化铟类的非晶体透明导电膜和氧化锌类的晶体透明导电膜,形成为表面电极的凹凸结构。
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