[发明专利]光刻机调焦调平机构以及光刻机调平机构有效
| 申请号： | 201110182278.1 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102854751A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 王大志;何凯;杜如虚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻机调焦调平机构，包括：底座；压电陶瓷驱动器组件，包括固定连接的压电陶瓷驱动器与球头支承，压电陶瓷驱动器组件的数量为三个，压电陶瓷驱动器固定于所述底座上，三个压电陶瓷驱动器组件呈直角三角形配置；承载台组件，包括承载台，承载台组件设有用于容置第一球头支承的弧形槽、用于容置第二球头支承的条状槽和用于容置第三球头支承的平面凸台；拉簧组件，与底座和承载台固定连接，用于实现承载台和底座的力封闭。本发明在自然放置状态下具有确定位置；在驱动作用下，具有确定的运动，由此解决了现有调焦调平机构的欠约束问题。采用运动学结构，消除了三点支撑式调平机构竖直方向的冗余自由度，提高了机构的刚度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 调焦 机构 以及 机调平 | ||
【主权项】：
一种光刻机调焦调平机构，其特征在于，包括底座；压电陶瓷驱动器组件，包括固定连接的压电陶瓷驱动器与球头支承，所述压电陶瓷驱动器组件的数量为三个，所述压电陶瓷驱动器固定于所述底座上，三个所述压电陶瓷驱动器组件呈直角三角形配置；承载台组件，包括承载台，所述承载台组件设有用于容置第一球头支承的弧形槽、用于容置第二球头支承的条状槽和用于容置第三球头支承的平面凸台，且弧形槽、条状槽和平面凸台呈直角三角形配置；拉簧组件，与所述底座和承载台固定连接，用于实现承载台和底座的力封闭。
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