[发明专利]一种用于电子束加工束流品质测试的法拉第筒传感装置

摘要

本发明公开了一种用于电子束加工束流品质测试的法拉第筒传感装置，包括法拉第筒、铝制外壳和信号切换和放大电路，法拉第筒和信号切换和放大电路都设置在铝制外壳内部，信号切换和放大电路与电子束品质测试系统的真空室外的工控机的采集卡连接，电子束品质测试系统的电子束流被法拉第筒收集，通过电缆流入信号切换和放大电路，微弱的电流信号经过信号切换和放大电路处理后，被采集卡转换成数字信号存储在工控机中；法拉第筒包括两个电子束流孔收集电极和一个电子束流缝收集电极，铝制外壳包括铝合金壳体、铝合金壳盖。本发明提高了电子束流的收集效率，避免了多次抽真空的过程，将信号放大可以明显的提高信噪比。

主权项

一种用于电子束加工束流品质测试的法拉第筒传感装置，其特征在于包括法拉第筒（8）、铝制外壳（9）和信号切换和放大电路（10），法拉第筒（8）和信号切换和放大电路（10）都设置在铝制外壳（9）内部，信号切换和放大电路（10）与电子束品质测试系统的真空室（6）外的工控机的采集卡（11）连接，电子束品质测试系统的电子束流被法拉第筒（8）收集，通过电缆流入信号切换和放大电路（10），微弱的电流信号经过信号切换和放大电路（10）处理后，被采集卡（11）转换成数字信号存储在工控机中；法拉第筒（8）包括两个电子束流孔收集电极（14‑1、14‑2）和一个电子束流缝收集电极（17），铝制外壳（9）包括铝合金壳体（18）、铝合金壳盖（19）；在铝合金壳体（18）的束流收集电极安装位置（23）处平行于壳底设置第一绝缘垫片（20‑1），并与第一绝缘垫片（20‑1）相平行方向，以叠加的方式依次放置第一孔收集电极（14‑1）、第二绝缘垫片（20‑2）、缝收集电极（17）、第三绝缘垫片（20‑3）、第二孔收集电极（14‑2）、第四绝缘垫片（20‑4）；第一绝缘垫片（20‑1）、第一孔收集电极（14‑1）、第二绝缘垫片（20‑2）、缝收集电极（17）、第三绝缘垫片（20‑3）、第二孔收集电极（14‑2）、第四绝缘垫片（20‑4）的两个侧面设置绝缘垫片（21），第一绝缘垫片（20‑1）、第一孔收集电极（14‑1）、第二绝缘垫片（20‑2）、缝收集电极（17）、第三绝缘垫片（20‑3）、第二孔收集电极（14‑2）、第四绝缘垫片（20‑4）的底部垫上过导线绝缘垫块（22）；两个圆盘形钨片（25‑1、25‑2）分别固定在铝合金壳体（18）的外侧，在每个圆盘形钨片的中心位置加工一个孔，该圆盘形钨片（25‑1、25‑2）的孔的中心轴分别与第一孔收集电极（14‑1）、第二孔收集电极（14‑2）的上所有孔的中心轴同轴，长方体形钨片（26）也固定在铝合金壳体（18）的外侧，在长方体形钨片（26）中间加工的狭缝，长方体形钨片（26）的安装时要保证狭缝与缝收集电极（17）上的缝的底面投影中心重合。