[发明专利]电子衍射断层照相的方法无效
| 申请号： | 201110180956.0 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102313755A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | H.何;A.福伊格特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20;G01N23/205 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘春元;王忠忠 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及电子衍射断层照相的方法。本发明描述了一种用于透射电子显微镜中的电子衍射断层照相的方法。已知的方法涉及使用扫描透射电子显微镜，且使用用于STEM衍射的扫描束。本发明提出使用具有比晶体稍大的直径的固定束（200）形成衍射图案，其结果是可以使用没有STEM单元的TEM。在TEM模式中完成发现晶体。根据本发明的方法的优点是：可以使用没有扫描单元的TEM，且衍射体积不取决于晶体的取向，因为在获得衍射图案时整个晶体被照射。 | ||
| 搜索关键词： | 电子衍射 断层 照相 方法 | ||
【主权项】：
一种使用电子显微镜（100）通过电子衍射断层照相来确定晶体的晶体结构的方法，该电子显微镜装配为使用电子束（200）照射晶体（202），该方法包含： 提供其中具有一种或更多晶体（202）的样品（204）， 识别样品上待分析的晶体， 通过重复地执行以下操作来记录晶体的衍射倾斜序列 ○ 相对于束使样品倾斜到已知倾斜角度， ○ 相对于束居中晶体，以及 ○ 记录在所述倾斜角度处晶体的衍射图案， 以及通过分析记录的衍射图案来确定晶体结构，其特征在于， 在记录衍射图像的同时，束相对于晶体保持固定，且束具有比晶体的直径大的直径。
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