[发明专利]一种用于硅片切割的砂浆喷流装置无效
| 申请号： | 201110175626.2 | 申请日： | 2011-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN102363331A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;B24C5/00 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于硅片切割的砂浆喷流装置，包括外套管，内管，所述内管安装在所述外套管内，所述内管与外管之间设有环隙，内管沿着管轴线的方向设有多个通孔，外套管沿轴线方向设有狭缝，还包括搅拌装置，所述搅拌装置包括搅拌轴、搅拌叶，所述搅拌轴一端轴向设置在内管内，另一端延伸在外套管外，所述搅拌叶固定设置在搅拌轴上，工作时，搅拌装置的搅拌轴低速转动，使搅拌叶对砂浆进行搅拌，使砂浆中的磨料颗粒处于悬浮状态，并且分布更加均匀，从而，使喷射出的砂浆密度更加均匀，避免硅片切割过程中的损坏，从而，提高了硅片的合格率及质量；且本发明结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 切割 砂浆 喷流 装置 | ||
【主权项】：
一种用于硅片切割的砂浆喷流装置，包括外套管，内管，所述内管安装在所述外套管内，所述内管与外管之间设有环隙，内管沿着管轴线的方向设有多个通孔，外套管沿轴线方向设有狭缝，其特征在于，还包括搅拌装置，所述搅拌装置包括搅拌轴、搅拌叶，所述搅拌轴一端轴向设置在内管内，另一端延伸在外套管外，所述搅拌叶固定设置在搅拌轴上。
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