[发明专利]利用激光空化微射流装配微细元件的方法

摘要

本发明公开了一种利用激光空化微射流装配微细元件的方法，包括以下步骤：1)利用液体的表面张力将微细元件抓取至微夹具的末端；2)利用微夹具将微细元件夹取至安装位置，并且使微细元件对准该安装位置；3)利用激光束通过透镜组在微型管道内的液体中聚焦，焦点处产生空化效应；4)空化效应引发指向微细元件的高速微射流和高强度的微冲击波，高速微射流与微冲击波推进微细元件，将微细元件释放于安装位置；5)利用连续的激光脉冲，不断地诱导微型管道内的液体产生空化效应，空化效应产生的高速微射流与微冲击波推动微细元件坚固于安装位置。本发明的方法可以准确、方便、且不易损伤微细零件的情况下有效实现微轴、微轴承等微连接结构的安装。

主权项

一种利用激光空化微射流装配微细元件的方法，其特征在于包括以下步骤：1)利用液体的表面张力将微细元件抓取至微夹具的末端，所述微夹具的中部具有微型管道，所述微型管道的末端具有微细元件的容置位置，所述微型管道内充装有液体；2)利用所述微夹具将所述微细元件夹取至安装位置，并且使所述微细元件对准该安装位置；3)利用激光束通过透镜组在所述微型管道内的液体中聚焦，焦点处产生空化效应；4)空化效应引发指向所述微细元件的高速微射流和高强度的微冲击波，高速微射流与微冲击波推进微细元件，将所述微细元件释放于所述安装位置；5)利用连续的激光脉冲，不断地诱导所述微型管道内的液体产生空化效应，空化效应产生的高速微射流与微冲击波推动所述微细元件坚固于所述安装位置。