[发明专利]飞秒激光束制备微纳复合周期结构的方法及装置无效
| 申请号： | 201110169139.5 | 申请日： | 2011-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN102259826A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 贾鑫;贾天卿;熊平新 | 申请（专利权）人： | 上海电机学院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽;曾人泉 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种飞秒激光束制备微纳复合周期结构的方法及装置，结合多光束干涉技术与飞秒激光诱导纳米结构，并发展偏振调节的方法，利用同一干涉装置，将飞秒激光束分成三光束，通过简单地旋转半波片角度调节三光束的偏振状态，能够制备种类繁多的微纳复合周期结构，极大地丰富了表面纳米周期结构的花样，提高了激光干涉技术的多样性，为激光纳米加工、材料改性等研究提供了新的技术手段。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 制备 复合 周期 结构 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种飞秒激光束制备微纳复合周期结构的方法，其特征在于，步骤如下：步骤一、由飞秒激光光源（1）发出激光束；步骤二、通过电子快门（2）调节所述激光束的照射时间；步骤三、通过第一半波片（3）及格兰棱镜（4）的组合调节所述激光束的能量和偏振方向；步骤四、将所述激光束分成能量相等的多束光；步骤五、通过延时光路系统使所述多束光同步；步骤六、所述多束光通过多个半波片调节各自偏振方向；步骤七、所述多束光通过多个会聚透镜共焦到样品（24）上；步骤八、所述多束光干涉烧蚀所述样品（24）得到微纳复合周期结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海电机学院，未经上海电机学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110169139.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
