[发明专利]用于制造压阻的传感器装置的方法以及传感器装置

摘要

本发明涉及一种用于制造用于惯性传感器的压阻的传感器装置（10）的方法，该传感器装置具有质量元件（12）、基体部件（14）以及连接该质量元件（12）和基体部件（14）的起到压阻作用的臂（16）。此外，本发明涉及一种相应的压阻的传感器装置（10）以及一种相应的惯性传感器。

主权项

用于制造用于惯性传感器的压阻的传感器装置（10）的方法，该传感器装置具有质量元件（12）、基体部件（14）以及连接该质量元件（12）和基体部件（14）的起到压阻作用的臂（16），借助于以下步骤进行制造：－提供由用电绝缘层（26）覆盖的半导体基底（20）构成的预制品（18），该半导体基底具有掺杂区（22）和非掺杂区或者以另一种形式掺杂的区域（24），其中所述预制品（18）具有两个区域（28、30），这两个区域分别具有掺杂区（22）的两个相互隔开的部分区域（36、38）之一，－制造两个穿过电绝缘层（26）的缺口（32、34），其中第一缺口（32）布置在掺杂区（22）的第一部分区域（36）中并且第二缺口（34）布置在掺杂区（22）的第二部分区域（38）中，－制造穿过第一缺口（32）直至掺杂区（22）的第一触点（40）、穿过第二缺口（34）直至掺杂区（22）的第二触点（42）以及在电绝缘层（26）上的从第一触点（40）至少延伸到第二部分区域（38）上方的区域的导体电路（44），并且－通过局部的材料去除来分开所述两个区域（28、30），除了两个区域（28、30）之间剩下的臂（16），其中所述臂（16）具有在导体电路（44）的区域内两个部分区域（36、38）之间由掺杂材料构成的接片（54）、导体电路（44）本身以及所述层（26）的留在导体电路（44）和接片（54）之间的条带（56）。