[发明专利]一种硅片切割的主辊无效
申请号: | 201110166596.9 | 申请日: | 2011-06-20 |
公开(公告)号: | CN102328356A | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 聂金根 | 申请(专利权)人: | 镇江市港南电子有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B28D5/04 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种硅片切割的主辊,包括主辊本体,主辊本体外周设有钛金属管,所述钛金属管与所述主辊主体可拆卸的连接成一体,所述钛金属管上设有多个线槽,由于主辊本体外周设有钛金属管,所述钛金属管与所述主辊主体可拆卸的连接成一体,钛金属管耐磨性较强,不容易损坏,从而延长了本发明的使用寿命;且钛金属管磨损后,只须更换钛金属管,无须整体更换主辊,因此,使用比较方便,且提高了硅片的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 切割 | ||
【主权项】:
一种硅片切割的主辊,包括主辊本体,其特征在于同,所述主辊本体外周设有钛金属管,所述钛金属管与所述主辊主体可拆卸的连接成一体,所述钛金属管上设有多个线槽。
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