[发明专利]探针

摘要

一种在于提供确保过量驱动、且可细微控制擦净量的探针；因此在朝垂直方向延伸的垂直探针、及朝垂直方向交叉方向延伸之一端为固定端，另一端则与上述垂直探针连接成多数水平悬臂梁，而构成出包含连杆机构第1变形部的探针上，从水平悬臂梁延长上述垂直探针的垂直延长部，是从上述垂直延长部垂直方向长度的大致中心位置，朝上述固定端方向形成具水平悬臂梁部的第2变形部，并朝向随着过量驱动所伴随之上述第1变形部的上述垂直探针上施加弯曲力矩的相抵方向，而在上述第2变形部的上述水平悬臂梁部同时发挥弯曲力矩作用，而得以在过量驱动的所有动作范围，细微控制上述垂直探针的擦净量。

主权项

一种探针，包括：在具有朝垂直方向延伸的垂直探针、及朝垂直方向与交叉方向延伸的直线或曲线形状，一端连接固定端，另一端则与上述垂直探针连接成多数水平悬臂梁所构成之含连杆机构的一第1变形部探针；自水平悬臂梁延伸之上述垂直探针的垂直延长部，是从上述垂直延长部之垂直方向长度而大致呈中心的位置，朝上述固定端方向形成出具备水平悬臂梁部的一第2变形部；其特征在于：藉由让随着过量驱动，而在上述第1变形部的上述垂直探针上，施加负载的弯曲力矩，朝相抵方向而在以上述第2变形部为主的上述水平悬臂梁部上，同时发挥弯曲力矩作用，让上述垂直探针尖端的水平位移即擦净变得相当微小。