[发明专利]探针

权利要求书

1.一种探针，包括：

在具有朝垂直方向延伸的垂直探针、及朝垂直方向与交叉方向延伸的直线或曲线形状，一端连接固定端，另一端则与上述垂直探针连接成多数水平悬臂梁所构成之含连杆机构的一第1变形部探针；

自水平悬臂梁延伸之上述垂直探针的垂直延长部，是从上述垂直延长部之垂直方向长度而大致呈中心的位置，朝上述固定端方向形成出具备水平悬臂梁部的一第2变形部；

其特征在于：藉由让随着过量驱动，而在上述第1变形部的上述垂直探针上，施加负载的弯曲力矩，朝相抵方向而在以上述第2变形部为主的上述水平悬臂梁部上，同时发挥弯曲力矩作用，让上述垂直探针尖端的水平位移即擦净变得相当微小。

2.如权利要求1所述之探针，其特征在于：上述第1变形部为悬臂，上述第2变形部则自上述悬臂开口端，朝向大致呈垂直方向所连接。

3.一种探针，包括：

在具有朝垂直方向延伸的垂直探针、及朝垂直方向与交叉方向延伸的直线或曲线形状，一端连接固定端，另一端则与上述垂直探针连接成1对水平悬臂梁而构成之含连杆机构探针，上述1对水平悬臂梁的相对间距呈连续或不连续变化的探针；

其特征在于：位于上述垂直探针尖端即受检电极焊垫侧相反端的水平悬臂梁，与垂直探针呈锐角，且对上述水平悬臂梁水平方向的角度范围在1度乃至3度。

4.如权利要求1所述之探针，其特征在于：接触受检焊垫的垂直探针尖端为大致呈平面，对上述尖端平面水平方向即受检电极焊垫面方向的角度范围是5度乃至10度，且接触受检焊垫的锐角侧曲率半径为2μm以下。

5.如权利要求1所述之探针，其特征在于：上述垂直探针尖端的水平位移即擦净在2μm以下。

6.如权利要求1所述之探针，其特征在于：在过量驱动的所有动作范围内，对于1个上述垂直探针的受检焊垫接触力在20mN以下。

7.如权利要求2所述之探针，其特征在于：上述垂直探针开始接触受检电极焊垫，而在过量驱动的所有动作范围内负载接触力，且于结束接触后而解除接触力的过程中，使受检电极焊垫表面的氧化皮膜或电极焊垫材料并未剥离。

8.如权利要求2所述之探针，其特征在于：上述第1变形部及前述第2变形部，是由使用金属箔如铍铜等黏着的树脂薄膜，蚀刻加工上述金属箔，而形成于树脂薄膜上的导电体。

9.如权利要求2所述之探针，其特征在于：上述第1变形部及上述第2变形部，是由蚀刻加工金属箔如铍铜等所形成之导电体构成。