[发明专利]一种改善真空获得和保持的装置及方法无效
| 申请号： | 201110128618.2 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102784592A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 刘宇;刘明;龙世兵;谢常青;胡媛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B01J3/03 | 分类号： | B01J3/03 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种改善真空获得和保持的装置，该装置包括反应腔(300)、闸板门(200)和进样室(100)，其中，反应腔(300)与进样室(100)通过闸板门(200)连接。本发明同时公开了一种改善真空获得和保持的方法。利用本发明，通过改进进样室的设计，将进样室和反应腔用闸板门连接，再将进样室用胶圈密封，使真空腔可以实现在不需要安装放气阀的情况下全部由闸板门密封，减少了腔体内壁接触到空气的时间，降低了空气吸附到腔体壁上的可能，使反应腔能够在较短的时间内达到高真空，同时在反应中能有效地保护反应腔内不受外界气氛的干扰，降低了生产实验所需的时间提高了产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 真空 获得 保持 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种改善真空获得和保持的装置，其特征在于，该装置包括反应腔(300)、闸板门(200)和进样室(100)，其中，反应腔(300)与进样室(100)通过闸板门(200)连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110128618.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
