[发明专利]空气浮抬运送装置和空气运送方法

摘要

一种空气浮抬运送装置及空气运送方法，把形成平面基板(10)的运送路的空气浮抬单元(1)朝向平面基板运送方向地配列成线状，把该空气浮抬单元(1)的列并列配列多列。空气浮抬单元(1)包括有：形成平面基板(10)的运送路的背面板(13)、位于与背面板(13)的运送路方向平行的两侧面且具有向背面板(13)的中央部上方喷出空气的倾斜喷嘴(21)的一对空气供给管(11、12)。因此，能够按照液晶基板等平面基板的大小和重量灵活地构成，且能够在稳定的状态下运送平面基板。

主权项

一种空气浮抬运送装置，利用空气一边把运送面上的板状被运送物从所述运送面浮抬一边进行运送，其特征在于，配置在所述运送面下的空气浮抬单元在与所述被运送物运送方向正交的单元宽度方向两侧具备向该单元宽度方向的中央侧喷出空气的侧部喷出部，而且在所述运送方向的下游侧端具备向该运送方向的上游侧喷出空气的下游侧喷出部，位于所述运送方向下游侧端附近的所述侧部喷出部向所述单元宽度方向中央侧且向所述运送方向下游侧倾斜地喷出空气；所述侧部喷出部和下游侧喷出部的至少一个具有：设置在所述单元宽度方向两侧或运送方向下游侧端的喷出基部、与该喷出基部重叠而安装的第一板、与该第一板重叠而安装的第二板，在所述第一板设置有缺口，该缺口从与设置于所述喷出基部的空气喷出口对应的位置向所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出方向敞开，通过由所述喷出基部和第二板夹住该缺口而形成所述侧部喷出部或下游侧喷出部的空气喷出路径。