[发明专利]太阳能电池的电极的制造方法与装置无效
| 申请号： | 201110122206.8 | 申请日： | 2011-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN102779894A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 黄博声 | 申请（专利权）人： | 联景光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾桃园县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种太阳能电池的电极的制造方法与装置，其中该方法具有下列步骤。进行雷射掺杂处理，以于基材上形成选择性射极。进行雷射标记处理，以于基材表面形成对准标记，其中在同一处理腔室进行雷射掺杂处理与雷射标记处理。根据对准标记，进行电极网印处理，于选择性射极上形成电极。此方法可以避免对准标记与雷射掺杂区(选择性射极)之间产生相对位移，进而减少后续网印处理的误差。本发明可以避免对准标记与雷射掺杂区(选择性射极)之间的相对位移，进而减少后续网印处理的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 电极 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池的电极的制造方法，其特征在于，包括：进行雷射掺杂处理，以于基材上形成选择性射极；进行雷射标记处理，以于所述基材表面形成对准标记，其中在同一处理腔室进行所述雷射掺杂处理与所述雷射标记处理；以及根据所述对准标记，进行电极网印处理，于所述选择性射极上形成电极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
