[发明专利]基板输送装置和基板的倾斜校正方法有效
| 申请号： | 201110121591.4 | 申请日： | 2011-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN102285527A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 市村久;海津拓哉;中山幸徳;山本立春;石田刚 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立工业设备技术 |
| 主分类号： | B65G43/08 | 分类号： | B65G43/08;B65G49/05;B65G47/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 吕林红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板输送装置和基板的倾斜校正方法，能够在基板移动着的状态下进行基板的倾斜校正。基板输送线路(5)由相对下基板(1)的输送方向(箭头)左侧的左侧辊式输送机(5L)和右侧的右侧输送机(5R)构成。如摘要附图所示，在所输送的下基板(1)倾斜的情况下，辊式输送机(5L、5R)中的基板检测传感器(24a、24b)根据检测到该下基板(1)各个的边部的定时的时间差来检测该倾斜的大小和方向，根据该检测结果使基于辊式输送机(5L、5R)中的某一侧的辊子(21a或者21b)的输送速度与稳定速度不同，使下基板(1)旋转该倾斜角度。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 倾斜 校正 方法 | ||
【主权项】：
一种基板输送装置，具有相对基板的输送方向在左右方向上配置左侧输送机和右侧输送机而成的输送机，通过驱动该左侧输送机和该右侧输送机，以稳定速度输送该基板，该基板输送装置的特征在于，设置有：基板检测传感器，在与该基板的输送方向垂直的方向上隔开间隔而配置在该左侧输送机和该右侧输送机中，对所输送的该基板进行检测；以及控制单元，根据通过该左侧输送机的该基板检测传感器和该右侧输送机的该基板检测传感器检测到的该基板的检测定时的时间差，求出所输送的该基板相对其输送方向的倾斜角，根据该倾斜角，使基于该左侧输送机的该基板的输送速度和基于该右侧输送机的该基板的输送速度不同，其中，使基于该左侧输送机的该基板的输送速度和基于该右侧输送机的该基板的输送速度不同，而使该基板在该左侧输送机和该右侧输送机的面内旋转，从而校正该基板的倾斜。
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