[发明专利]外观检查装置

摘要

一种外观检查装置，在使用光切断法的外观检查装置中，提高区域感应器相机的快门速度，实现高精密度的检查。本发明包括搬运检查对象物的搬运机构；对检查对象物K的表面形状进行检查的表面形状检查机构。表面形状检查机构包括：照射在带状的狭缝光检查对象物K表面的狭缝光照射部；拍摄狭缝光的影像的区域感应器相机；使狭缝光的反射光由搬运方向下游侧入射并导引至区域感应器相机的第1光学机构；及由上游侧入射，并导引至区域感应器相机的第2光学机构；以通过区域感应器相机拍摄到的两个影像为基础，对于检查对象物K表面的适当与否进行判定的形状判定部。第1光学机构及第2光学机构的各光学路径，使各反射光以横向排列成像在区域感应器相机。

主权项

一种外观检查装置，其包括：沿着既定搬运面搬运检查对象物的搬运机构，以及检查被该搬运机构搬运的所述检查对象物的表面形状的表面形状检查机构，其特征在于：所述表面形状检查机构，包括：配设于所述搬运机构的附近，使带状的狭缝光，以相对于所述搬运面呈垂直且其照射线与所述检查对象物的搬运方向正交的方式，照射在所述检查对象物表面的狭缝光照射部；拍摄照射在所述检查对象物表面的狭缝光的影像的区域感应器相机；具有使照射在所述检查对象物表面的狭缝光的反射光由沿着所述检查对象物的搬运方向的下游侧入射，并导引至所述区域感应器相机的光学路径的第1光学机构；及具有使所述反射光由沿着所述搬运方向的上游侧入射，并导引至所述区域感应器相机的光学路径的第2光学机构；以通过所述区域感应器相机拍摄到的影像为基础，辨识所述检查对象物表面的形状特征，关于该形状的适当与否进行判定的形状判定部；而所述第1光学机构及第2光学机构中各光学路径，使所述各反射光在所述区域感应器相机的成像部中以横向排列成像的路径。