[发明专利]一种醇热沉积铜锌锡硫薄膜的方法无效
申请号: | 201110094192.3 | 申请日: | 2011-04-14 |
公开(公告)号: | CN102181847A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 占金华;代鹏程;蒋贺纯 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12;H01L31/18;H01L31/032 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 郎彼得 |
地址: | 250100 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种醇热沉积铜锌锡硫薄膜的方法,属于无机材料制备技术领域。本发明使用硫脲和金属盐形成前驱物,醇做溶剂,将基片浸在溶液中,在密封高压釜中加热,直接沉积铜锌锡硫薄膜,得到的薄膜可通过高温退火提高结晶性。本发明设计合理,操作简单,反应易控,重复性好,可一次性沉积多片基底。 | ||
搜索关键词: | 一种 沉积 铜锌锡硫 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种醇热沉积铜锌锡硫薄膜的方法,包括步骤如下:1)将铜盐、锌盐、锡盐、硫脲按(1‑2)∶(0.5‑1)∶(0.5‑1)∶(4‑8)的摩尔比溶于醇中,配成浓度为0.01‑1摩尔每升的混合溶液;2)将步骤1)制备的混合溶液置入密封的高压反应釜中,薄膜基底需要镀膜部分浸在所述的混合溶液中,在160‑300℃下沉积0.5‑24小时,所述的薄膜基底为镀钼玻璃、FTO导电玻璃、ITO导电玻璃、金属箔中的一种;3)反应釜冷却至室温后将基底取出,用乙醇或水清洗表面,基底表面沉积铜锌锡硫薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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