[发明专利]一种醇热沉积铜锌锡硫薄膜的方法无效

专利信息
申请号: 201110094192.3 申请日: 2011-04-14
公开(公告)号: CN102181847A 公开(公告)日: 2011-09-14
发明(设计)人: 占金华;代鹏程;蒋贺纯 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12;H01L31/18;H01L31/032
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 郎彼得
地址: 250100 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种醇热沉积铜锌锡硫薄膜的方法,属于无机材料制备技术领域。本发明使用硫脲和金属盐形成前驱物,醇做溶剂,将基片浸在溶液中,在密封高压釜中加热,直接沉积铜锌锡硫薄膜,得到的薄膜可通过高温退火提高结晶性。本发明设计合理,操作简单,反应易控,重复性好,可一次性沉积多片基底。
搜索关键词: 一种 沉积 铜锌锡硫 薄膜 方法
【主权项】:
一种醇热沉积铜锌锡硫薄膜的方法,包括步骤如下:1)将铜盐、锌盐、锡盐、硫脲按(1‑2)∶(0.5‑1)∶(0.5‑1)∶(4‑8)的摩尔比溶于醇中,配成浓度为0.01‑1摩尔每升的混合溶液;2)将步骤1)制备的混合溶液置入密封的高压反应釜中,薄膜基底需要镀膜部分浸在所述的混合溶液中,在160‑300℃下沉积0.5‑24小时,所述的薄膜基底为镀钼玻璃、FTO导电玻璃、ITO导电玻璃、金属箔中的一种;3)反应釜冷却至室温后将基底取出,用乙醇或水清洗表面,基底表面沉积铜锌锡硫薄膜。
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