[发明专利]一种用于激光束偏转角的检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201110086783.6 | 申请日： | 2011-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN102735190A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 戈亚萍;徐荣伟;宋海军 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明一种激光束偏转角检测装置，沿光轴依次包括：光源，光纤，准直透镜，聚焦透镜，括束透镜，反射面；激光束经反射面反射，沿原路返回，经光纤耦合器耦合，再经分光器件分光到光探测器进行测量。本发明通过激光束在硅片面的反射光耦合进光纤，再通过分束，光功率计探测来检测激光束的偏转角，提高了对激光束偏转角检测的可操作性，降低了对激光束偏转角检测的难度，降低了检测成本，具备较高的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光束 偏转 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种激光束偏转角检测装置，其特征在于沿光轴依次包括：光源，光纤，准直透镜，聚焦透镜，括束透镜，反射面；激光束经反射面反射，沿原路返回，经光纤耦合器耦合，再经分光器件分光到光探测器进行测量。
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