[发明专利]带有校准的激励同步的微机电陀螺仪以及激励微机电陀螺仪的方法

摘要

本发明公开了带有校准的激励同步的微机电陀螺仪以及激励微机电陀螺仪的方法，陀螺仪包括主体(6)，可根据驱动轴(X)移动的驱动质量块(7)，以及由驱动质量块(7)驱动且可按照感应轴(Y)移动的感应质量块(8)，以响应于所述主体(6)的旋转。驱动装置(3)与该主体(6)和该驱动质量块(7)构成微机电控制回路(18)，并维持该驱动质量块(7)以驱动频率(ω_D)振荡。所述驱动装置(3)包括：频率检测器(25)，其提供在驱动质量块(7)的振荡频率上的时钟信号(CK_N)；以及同步级(29)，其给时钟信号(CK_N)施加校准的相移()，以补偿由设置在驱动质量块(7)与控制节点(25a)之间的回路(18)的部件(20，21，22)引起的相移。

主权项

一种微机电陀螺仪，其包括：主体；驱动质量块，其根据驱动轴以第一自由度相对于所述主体可移动，以及感应质量块，其机械耦合至所述驱动质量块以被带入根据驱动轴的运动中，并且根据感应轴以第二自由度相对于所述驱动质量块可移动，以响应于所述主体的旋转；驱动装置，与所述主体和所述驱动质量块一起形成微机电控制回路，并设置成根据所述驱动轴以一驱动频率维持所述驱动质量块的振荡；其中驱动装置包括频率检测器模块，其连接到微机电控制回路的控制节点，并且配置为提供第一时钟信号，所述第一时钟信号带有与驱动质量块的当前振荡频率相等的频率；其特征在于，所述驱动装置还包括同步级，其配置为在第一操作模式中向所述第一时钟信号施加校准的相移，以补偿由布置在所述驱动质量块与所述控制节点之间的所述微机电控制回路的部件引起的相移，其中，所述同步级配置为在第一操作模式中提供第二时钟信号，其具有与第一时钟信号相同的频率以及与校准的相移相等的相移；振荡器，其关于微机电控制回路异步，并被校准以向所述同步级提供具有与驱动频率接近的辅助频率的第三时钟信号。