[发明专利]基于谐振频率的压力传感器有效
申请号: | 201110083271.4 | 申请日: | 2011-03-30 |
公开(公告)号: | CN102243124A | 公开(公告)日: | 2011-11-16 |
发明(设计)人: | 安德鲁·J·克洛辛斯基;查尔斯·R·威勒克斯 | 申请(专利权)人: | 罗斯蒙德公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01L13/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘晓峰 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了一种用于感测过程流体的压力的压力传感器,所述压力传感器包括被暴露到过程流体的压力的传感器主体。传感器主体响应于所述压力变形。从传感器主体悬挂的膜片具有响应于传感器主体的变形而改变的张力。膜片的谐振频率被测量。测量的谐振频率指示过程流体的管路压力和隔离填充流体系统的完整性。除测量谐振频率之外,振动模式本身可以用作用于评定传感器健康状态的诊断工具。 | ||
搜索关键词: | 基于 谐振 频率 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种用于感测过程流体的压力的压力传感器,包括:可变形传感器主体,所述可变形传感器主体被暴露到所述过程流体的压力,其中所述传感器主体响应于所述压力而变形;膜片,所述膜片通过所述传感器主体被悬挂,并且具有响应于所述传感器主体的变形而改变的张力;和谐振频率传感器,所述谐振频率传感器被构造成感测所述膜片的谐振频率,所述谐振频率指示所述过程流体的压力。
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