[发明专利]用于观察特征的自动化片状铣削

摘要

本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。

主权项

一种利用带电粒子束系统观测特征的方法，其包括：把带电粒子束导向基底以便在所述基底中铣削第一切片，所述第一切片暴露出将要观测的特征的部分；把带电粒子束导向第一切片，以便形成所述特征的暴露部分的射束图像；其特征在于，所述方法还包括：对所述特征的射束图像进行分析，以便确定用以暴露出所述特征的附加部分的后续铣削操作的尺寸和方位；以及把带电粒子束导向基底以便通过执行所述后续铣削操作在所述基底中铣削第二切片，所述后续铣削操作所暴露出的第二切片具有不同于第一切片的尺寸或定向的尺寸或定向，以及/或者所述后续铣削操作在垂直于离子束的方向上产生偏移第一切片的第二切片。