[发明专利]矩形深截止超窄带带通滤光片的制作方法

摘要

本发明提出的一种矩形深截止超窄带带通滤光片的制作方法，利用本方法，可显著地提高带通滤光片有效面积和截止度，有效控制误差的负面影响。本发明通过下述技术方案予以实现：(1)确定理论膜系，以多腔滤光片的典型膜系结构为基础，选取Ta2O5作为高折射率材料，SiO2为低折射率材料，以λ为滤光片的工作波长，分别定义Ta2O5和SiO2在λ/4的单位光学厚度为H和L，在计算机上，使用膜系设计软件TFC Calc，根据超窄带带通滤光片要求的性能参数确定滤光片的膜系结构；(2)使用全自动镀膜机，根据上述获得的理论膜系结构，制作出该镀膜机自动控制用的模板控制文件；(3)在镀膜机内装入选定的镀膜材料，采用偏心监控的控制方式，镀膜机按选定的模板控制文件自动完成滤光片的制作。

主权项

一种矩形深截止超窄带带通滤光片的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)确定理论膜系，以多腔滤光片的典型膜系结构为基础，选取Ta2O5作为高折射率材料，SiO2为低折射率材料，以λ为滤光片的工作波长，分别定义Ta2O5和SiO2在λ/4的单位光学厚度为H和L，在计算机上，使用膜系设计软件TFCCalc，根据超窄带带通滤光片要求的性能参数确定滤光片的膜系结构；(2)使用具有石英晶体振荡膜厚控制仪、高精度光学膜厚控制仪和射频离子源辅助镀膜的全自动镀膜机，并根据上述获得的理论膜系结构，制作出该镀膜机自动控制用的模板控制文件；(3)在镀膜机内装入选定的镀膜材料，采用偏心监控的控制方式，镀膜机按选定的模板控制文件自动完成滤光片的制作。