[发明专利]一种多线切割硅片的工艺

摘要

本发明涉及一种多线切割硅片的工艺，该工艺先将钢线安装在多线切割机上，然后让钢线采取双向走线的方法并保持一定走线速度切割硅片；之后，当钢线走线完毕并卷收在收线轮上时，将放线轮与收线轮的位置互换，测量钢线的直径，更换成符合钢线粗细要求的具有相应槽距的主辊，重新安装在多线切割机上，然后将钢线采取单向走线的方法并保持走线速度在原双向走线速度的1.5～2.5倍之间切割硅片即可。采用本发明方法，可以在多线切割硅片的过程中，将使用的钢线用量降低三分之一，提高了钢线的利用率，同时，由双向走线改成单向走线后继续切割，钢线更细，槽距更小，还可增加硅片的出片数。

主权项

一种多线切割硅片的工艺，其特征在于先将卷着钢线的放线轮上拉出的钢线依次经过包括若干个导轮的导轮组一、主辊一、主辊二、包括若干个导轮的导轮组二、收线轮安装在多线切割机上，且钢线在主辊一和主辊二上多次缠绕形成线网，然后让钢线采取双向走线的方法并保持一定走线速度切割硅片；之后，当钢线走线完毕并卷收在收线轮上时，将放线轮与收线轮的位置互换，将卷着钢线的收线轮上拉出的钢线重新依次经过包括若干个导轮的导轮组一、主辊一、主辊二、包括若干个导轮的导轮组二、放线轮安装在多线切割机上，且钢线在主辊一和主辊二上多次缠绕重新形成线网，然后将钢线采取单向走线的方法并保持走线速度在原双向走线速度的1.5～2.5倍之间切割硅片即可。