[发明专利]加热器无效
| 申请号： | 201110064381.6 | 申请日： | 2011-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN102685945A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 郭新贺;景玉鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H05B3/26 | 分类号： | H05B3/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于超临界流体精密清洗的加热器，该加热器包括加热盘、加热元件和均热板，其中：加热盘，采用石英材料制备；均热板，采用石英材料制备，位于加热盘的上方，加热盘和均热板固定连接，加热盘和均热板之间形成空腔；加热元件，设置于加热盘和均热板之间的空腔内。本发明加热器中，由于石英材料稳定的构成及其物理性质，保证了待加热衬底和加热元件的可靠隔离，从而避免了在衬底中引入污染。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 | ||
【主权项】：
一种加热器，其特征在于，该加热器包括加热盘、加热元件和均热板，其中：所述加热盘，采用石英材料制备；所述均热板，采用石英材料制备，位于所述加热盘的上方，所述加热盘和所述均热板固定连接，所述加热盘和所述均热板之间形成空腔；所述加热元件，设置于所述加热盘和所述均热板之间的空腔内。
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