[发明专利]对射光束同轴误差的测量方法

摘要

一种对射光束同轴误差的测量方法，该方法通过一个分束棱镜、二维平移调整器、角反射器、光强探测器和观测屏，可以测量两束对射重合光的重合误差，本发明方法具有设备简单、容易观测，测量方便，对射光束的同轴调整快捷方便、准确可靠的特点。

主权项

一种对射光束同轴误差的测量方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①待测的两对射光束分别称为第一光束和第二光束，在所述的两对射光束的光路中插入一块偏振分束棱镜(5)，使该偏振分束棱镜(5)的分光面与所述的光束成45°；②在所述的偏振分束棱镜(5)的第二光束的反射光方向依次设置四分之一波片(4)、角反射器(2)和光强探测器(1)，该角反射器(2)置于二维平移调整架(3)上并且该角反射器(2)的斜边与所述的反射光束垂直，而该角反射器(2)的直角顶指向所述的光强探测器(1)；在所述的偏振分束棱镜(5)的第一光束的反射光方向设置观测屏(6)；③调整所述的二维平移调整架(3)，通过光强探测器(1)观察，使之观察到所述的第二反射光经所述的角反射器(2)的直角顶的漏光，然后调整所述的四分之一波片(4)，使经角反射器(2)的直角顶反回的光束透过所述的偏振分束棱镜(5)；④所述的第一光束经所述的偏振分束棱镜(5)反射后在所述的观测屏(6)上形成第一光斑，第二光束经所述的偏振分束棱镜(5)反射后经所述的四分之一波片(4)、角反射器(2)后返回，再经所述的四分之一波片(4)，透过偏振分束棱镜(5)在所述的观测屏(6)上形成第二光斑，测量第一光斑和第二光斑中心的距离d1；⑤沿光路方向移动所述的观测屏(6)的距离为L，测量第一光斑和第二光斑中心的距离d2；⑥然后利用下列公式可以计算出两对射光束之间的夹角为：α＝arcsin[(d1‑d2)/L]，当夹角很小时，α≈(d1‑d2)/L。