[发明专利]金属发热体结构单多晶定向凝固系统无效
| 申请号： | 201110055738.4 | 申请日： | 2011-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102154683A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 柳祝平;黄小卫 | 申请（专利权）人： | 元亮科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种金属发热体结构单多晶定向凝固系统，涉及晶体生长，其特征在于：包括模块化设计组合式水冷炉壁、水冷炉底、水冷发热体法兰座、水冷托杆下拉旋转机构和真空装置，坩埚通过坩埚托座安装在水冷的上端，底端通过下水冷杆和下拉机构相连，纯金属发热体安装在水冷发热体法兰座上，另有上下保温层、绝缘保温层、保温筒来实现温场。在生长过程中通过顶部带四周发热体和水冷托杆的组合来实现温度梯度法(TGT)、热交换法(HEM)和坩埚下降法生产晶体。有益效果是通过调节梯度来调节温场，可以方便的得到不同晶体生长所需要的高温和温度分布，从而提高了研发和生产的效率，使晶体尺寸和质量得到提高，提高设备的利用率；由于不使用石墨类发热体，有效的避免了碳污染。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 发热 结构 多晶 定向 凝固 系统 | ||
【主权项】：
一种金属发热体结构单多晶定向凝固系统，涉及晶体生长，其特征在于：包括模块化设计组合式水冷炉壁、水冷炉底、水冷发热体法兰座、水冷托杆下拉旋转机构和真空装置，坩埚通过坩埚托座安装在水冷的上端，底端通过下水冷杆和下拉机构相连，纯金属发热体安装在水冷发热体法兰座上，另有上下保温层、绝缘保温层、保温筒来实现温场。在生长过程中通过顶部带四周发热体和水冷托杆的组合来实现温度梯度法(TGT)、热交换法(HEM)和坩埚下降法生产晶体。有益效果是通过调节梯度来调节温场，可以方便的得到不同晶体生长所需要的高温和温度分布，从而提高了研发和生产的效率，使晶体尺寸和质量得到提高，提高设备的利用率；由于不使用石墨类发热体，有效的避免了碳污染。
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