[发明专利]载置台构造和处理装置

摘要

载置台构造和处理装置。在陶瓷制的载置台主体(72)的内部埋设有被馈电导体部(94、96)。在载置台主体(72)的表面形成有凹部形态的连接孔(112)，由与被馈电导体部电接合的高熔点金属、其合金或其化合物构成的连接端子(110)从该连接孔(112)的内部露出。为了向被馈电导体部进行馈电将设置在馈电用线路部件的前端的馈电用连接器部(114)插入到连接孔内。将应力缓和部件(116)设置在连接端子和馈电用连接器部之间。应力缓和部件和连接端子利用钎料(120)而接合。应力缓和部件由不含钴和镍的金属或其合金构成。因此，能够防止在连接端子和馈电用连接器部的接合部中发生金属元件的热扩散，防止接合强度的恶化。

主权项

一种载置台构造，包括：载置台主体，该载置台主体为陶瓷制的载置台主体，在所述载置台主体的内部埋设有被馈电导体部，并且在所述载置台主体的表面形成有凹部形态的连接孔，与所述被馈电导体部电接合的连接端子从所述连接孔内露出；馈电用线路部件，该馈电用线路部件具有为了向所述被馈电导体部进行馈电而将前端插入到所述连接孔内的馈电用连接器部；和支撑所述载置台主体的支柱，所述载置台构造的特征在于：所述连接端子和所述馈电用连接器部均由高熔点金属构成，所述连接端子和所述馈电用连接器部利用钎料而接合，所述钎料选自由Au构成的Au钎料与由Ag和Ti构成的Ag‑Ti钎料中的1种钎料。