[发明专利]片材的清洗方法无效
| 申请号： | 201110048881.0 | 申请日： | 2011-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102172586A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 陈宏 | 申请（专利权）人： | 张家港市超声电气有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 张家港市高松专利事务所 32209 | 代理人： | 孙高 |
| 地址： | 215618 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洗效果好、清洗效率高的片材的清洗方法，其步骤为：将所要清洗的片材置于超声波清洗池中，片材被上、下输送带夹持着从超声波震动面以平行于超声波震动面的方式匀速通过。本发明所述的方法使得待清洗片材的所要清洗的表面各个部位达到相同的清洗效果，而且，还降低了清洗成本，提高了清洗效率。本发明主要用于硅片的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 | ||
【主权项】：
片材的清洗方法，其步骤为：将所要清洗的片材置于超声波清洗池中，片材被上、下输送带夹持着从超声波震动面以平行于超声波震动面的方式匀速通过。
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