[发明专利]双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计

摘要

本发明公开了一种双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上；所述玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接；所述微加速度计结构由质量块和四个完全相同的谐振器子结构组成。本发明采用频率检测、两检测轴完全解耦、对称布置，结构简单、紧凑、体积小、精度高。

主权项

一种双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座(16)；所述微加速度计结构键合在玻璃基座(16)上；所述玻璃基座(16)上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，其特征在于：所述微加速度计结构由质量块(1)和四个完全相同的谐振器子结构(2a、2b、2c、2d)组成，其中第一谐振器子结构由第一横梁(7a)、两个完全相同且对称分布的杠杆(8a1、8a2)、振动部件(9a)组成，第一横梁(7a)通过两个短直梁(6a3、6a4)分别与两个杠杆(8a1、8a2)的一端连接，两个杠杆(8a1、8a2)的另一端通过两个短直梁(6a5、6a6)与振动部件(9a)连接，两个杠杆(8a1、8a2)的支点处通过两个短直梁(6a1、6a2)与第三固定基座(5a4、5a5)连接；所述质量块(1)分别通过第一解耦梁(3a1、3a2、3b1、3b2、3c1、3c2、3d1、3d2)与四个谐振器子结构(2a、2b、2c、2d)连接，四个谐振器子结构(2a、2b、2c、2d)的横梁端(7a、7b、7c、7d)通过第二解耦梁(4a1、4a2、4b1、4b2、4c1、4c2、4d1、4d2)与第一固定基座(5a1、5a2、5b1、5b2、5c1、5c2、5d1、5d2)连接，四个谐振器子结构(2a、2b、2c、2d)的固定端(9a1、9b1、9c1、9d1)与第二固定基座(5a3、5b3、5c3、5d3)连接。