[发明专利]涂布装置及其液体材料的更换方法有效
申请号: | 201110041335.4 | 申请日: | 2011-02-18 |
公开(公告)号: | CN102179349A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 蒋其晋;贺成明 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | B05C11/10 | 分类号: | B05C11/10;B05C5/00;B08B3/00;H01L21/00 |
代理公司: | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 518057 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种涂布装置及其液体材料的更换方法。涂布装置包括储存槽、排空组件、清洗液阀开关、第二液体材料阀开关及控制单元,所述方法包括如下步骤:利用控制单元来控制排空组件,以排出储存槽内的第一液体材料;利用控制单元来控制清洗液阀开关,以通入清洗溶液于储存槽内;利用所述控制单元来控制排空组件,以排出储存槽内的清洗溶液;以及利用控制单元来控制第二液体材料阀开关,以通入第二液体材料于所述储存槽内。本发明可避免人为操作所造成的错误并可减少在清洗涂布装置或及更换液体材料时所耗费的人力和时间。 | ||
搜索关键词: | 装置 及其 液体 材料 更换 方法 | ||
【主权项】:
一种涂布装置,其特征在于:所述涂布装置包括:涂布组件;至少一储存槽,连接于所述涂布组件;排空组件,连接于所述涂布组件与所述储存槽之间,用以排出第一液体材料及/或清洗溶液;清洗液阀开关,设置于清洗溶液槽与所述储存槽之间,用以切换所述清洗溶液的通入;第二液体材料阀开关,设置于第二液体材料槽与所述储存槽之间,用以切换第二液体材料的通入;以及控制单元,电性连接于所述清洗液阀开关、所述排空组件及所述第二液体材料阀开关,用以控制所述清洗液阀开关、所述排空组件及所述第二液体材料阀开关。
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