[发明专利]多级干燥真空泵

摘要

本发明公开了一种多级干燥真空泵，通过同时冷却泵的缸体和转子，使得泵的缸体和转子之间热膨胀状态相同，由此能够防止因为缸体和转子之间热膨胀不同而发生的泵粘住，通过分别在转子和缸体内获得优化的间隙设计，可获得高的真空度，由此使得泵的尺寸变小并显著地降低泵设备的维护成本。用来传输被各缸压缩的气体的气体通道设置在各个缸体处，其形状围绕各个缸的外侧，用于循环冷却水的冷却水套设置在气体通道的外侧附近，以及连通通道形成在与冷却水套接触的气体通道处，并做成与缸的排气空间连通。

主权项

一种多级干燥真空泵，包括：多个形成为多级结构的多级缸体，于是，沿着从气体抽吸部分到排放部分的方向，气体压缩比越来越增高；形成在各个缸体处的缸；一对转子，它们安装在各个缸内并彼此接合和转动；转动转子对的主轴和从动轴；转动主轴的电动机；入口端口，当转子对转动而导向气体流入1级缸内时，该入口端口连接到外部设备；以及将气体从最后缸排到外面的排气端口，其中，气体通道形成在各个缸体处，用来传递各个缸内压缩的气体，使所述气体通道围绕各个缸的外侧，用于循环冷却水的冷却水套形成在气体通道的外侧附近，该冷却水套的形状像围绕着该气体通道，以及连通通道设置在与冷却水套接触的各个气体通道处，并做成与缸的排气空间连通。